磁控溅射靶枪

自主研发，可在软件中实时调整靶枪角度。

屏蔽罩高与靶材；

靶枪设计减少短路情况；

可在真空中连续实时调整倾角，重复性好；

系统自动对焦，自动给出靶基距；

方便清洗，更换靶材方便；

兼容直流、脉冲直流、射频电源