产品综述：LH-Series激光加热系列脉冲激光沉积系统是一款多功能的物理气相沉积设备，可以通过不同的配置实现不同的需求，圆柱形腔体设计。
主要特点：实现一键RUN自动化流程运行，激光加热，实时监控，晶振监控仪，监控镀膜速率，摄像头实时监控辉羽状态。设备稳定，实验重复性高。
|
LH-Series |
||
|
真空腔体 |
|
|
|
|
材质 |
电解抛光304不锈钢 |
|
|
腔体形状 |
圆柱形 |
|
|
本底真空度 |
5 x10-9 mbar（可选） |
|
|
工艺气体 |
O2，Ar，N2(其它可选) |
|
激光加热台 |
|
|
|
|
最大wafer尺寸 |
10*10 mm2 |
|
|
最高加热温度 |
1100℃ |
|
|
移动自由度 |
X Y Z Phi tilt |
|
|
挡板 |
自动 |
|
|
红外测温 |
测温范围150℃-1600℃ |
|
靶台 |
|
|
|
|
移动自由度 |
公转，自转，摆动，Z方向 |
|
|
靶材个数 |
≤6 |
|
|
靶材尺寸 |
1”,2”（可选） |
|
|
传送方式 |
单个靶材传送 |
|
进样室 |
|
|
|
|
本底真空度 |
<10-6 mbar |
|
|
真空泵 |
机械泵+分子泵 |
|
RHEED |
|
|
|
|
电子枪能量 |
50 KeV |
|
|
工作气压 |
0.5 mbar |
|
|
真空获取 |
两级差分抽气功能 |
|
控制软件 |
|
|
|
|
控制系统 |
PLC，工控机 |
|
|
电脑界面软件 |
Labview |
|
|
温控系统 |
PID |
|
|
安全保护 |
急停按钮、过载保护以及漏电保护 |
|
|
其他 |
程序智能控制，自动参数记录 |
摄像头和掩膜板系统都可选，同时可根据用户需求定制。用来沉积多晶薄膜、外延薄膜、多层异质结构和超晶格结构的薄膜。
