产品综述：高性价比PLD；模块化设计、软件实现自动化控制、安全互锁功能
产品综述：高性能PLD/LMBE；模块化设计，最高5维样品架，软件实现自动化控制、安全互锁功能 ...
产品综述：大面积PLD；最大8英寸基片，激光线性扫描提高成膜均匀性，软件实现自动化控制、安全互锁功能 ...
产品综述：超高真空，可不破真空调节靶枪倾角，精度0.1°
产品综述：兼容超高真空，全自动控制镀膜过程，可与PLD/磁控真空互联
产品综述：镀膜设备与其他真空设备互联，可在真空环境下完成样品不同阶段镀膜及测试
