PLD系统6靶位靶台，可自转、公转（公转方向带摆动扫描功能）。

扫描式靶台可选，烧蚀均匀性更高，适用于各种形状靶材。

靶材：6个1英寸或3个2英寸

自转：步进电机控制

公转：步进电机控制（可摆动扫描）

传靶方式：单独传送或整体传送

扫描型靶台可选：靶台不自转，在XY方向线性扫描，提高烧蚀均匀性

可定制